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更新時間：2023-05-08 
瀏覽次數(shù)：258低脈動
驅(qū)動機構(gòu)將波紋管的運動控制到消除泵脈動的最佳相位。實現(xiàn)極低脈動運行。（ PAT。）
適用于單晶圓工藝的出色負(fù)載跟隨性
通過進行相位控制，提高了負(fù)載變動時的跟蹤性能。特別是在單晶圓工藝等壓力波動頻繁的生產(chǎn)線中，其高負(fù)載跟隨性可實現(xiàn)吐出量和吐出壓力的穩(wěn)定運行。
無需阻尼器，節(jié)省空間
由于不需要安裝阻尼器，因此可以節(jié)省設(shè)備空間。配管作業(yè)簡單，可減少氟樹脂接頭等昂貴的配管材料，有助于實現(xiàn)設(shè)備的小型輕量化。
安全設(shè)計
波紋管焊接結(jié)構(gòu)，防止漏液，即使波紋管破損，采用漏液傳感器檢測漏液情況
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