Sanko-Denshi(三光電機(jī))是一家知的名的日本公司,專注于生產(chǎn)各種精密測(cè)量?jī)x器,其中包括膜厚計(jì)。Sanko-Denshi的膜厚計(jì)SWT-NEO是一款用于測(cè)量薄膜厚度的高精度儀器,廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。以下是關(guān)于Sanko-Denshi膜厚計(jì)SWT-NEO的詳細(xì)介紹:
一、產(chǎn)品概述
二、工作原理
三、功能特點(diǎn)
高精度測(cè)量:能夠測(cè)量納米級(jí)厚度的薄膜,測(cè)量精度可達(dá)亞納米級(jí)別。
非接觸式測(cè)量:采用光學(xué)測(cè)量方法,無(wú)需接觸樣品,避免對(duì)樣品造成損傷。
多種測(cè)量模式:支持多種測(cè)量模式,包括單點(diǎn)測(cè)量、多點(diǎn)測(cè)量和掃描測(cè)量。
實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析:儀器內(nèi)置數(shù)據(jù)分析軟件,能夠?qū)崟r(shí)顯示測(cè)量結(jié)果,并提供多種數(shù)據(jù)處理功能。
多種測(cè)量范圍:適用于不同厚度范圍的薄膜測(cè)量,從納米級(jí)到微米級(jí)。
用戶友好界面:配備大屏幕液晶顯示屏,操作界面直觀易用。
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與輸出:可以存儲(chǔ)大量測(cè)量數(shù)據(jù),并通過(guò)USB接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行進(jìn)一步分析。
多種語(yǔ)言支持:支持多種語(yǔ)言顯示,包括英語(yǔ)、日語(yǔ)、中文等。
四、技術(shù)規(guī)格
測(cè)量范圍:納米級(jí)至微米級(jí)(具體范圍取決于薄膜材料和測(cè)量條件)。
測(cè)量精度:亞納米級(jí)別。
測(cè)量速度:快速測(cè)量,適合高通量檢測(cè)。
光源:激光光源,波長(zhǎng)可根據(jù)測(cè)量需求選擇。
測(cè)量模式:?jiǎn)吸c(diǎn)測(cè)量、多點(diǎn)測(cè)量、掃描測(cè)量。
數(shù)據(jù)存儲(chǔ):可存儲(chǔ)大量測(cè)量數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)輸出:USB接口,支持?jǐn)?shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)。
電源:交流電源適配器。
尺寸:緊湊型設(shè)計(jì),便于實(shí)驗(yàn)室和現(xiàn)場(chǎng)使用。
重量:輕便,便于攜帶。
五、應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè):用于測(cè)量半導(dǎo)體薄膜的厚度,如硅片上的氧化層、金屬層等。
電子行業(yè):用于測(cè)量電子元件上的薄膜厚度,如電容、電阻等。
光學(xué)行業(yè):用于測(cè)量光學(xué)薄膜的厚度,如反射膜、增透膜等。
材料科學(xué):用于研究新型薄膜材料的厚度和性能。
科研領(lǐng)域:用于實(shí)驗(yàn)室研究和開(kāi)發(fā)中的薄膜厚度測(cè)量。
六、操作步驟
準(zhǔn)備樣品:將待測(cè)樣品放置在測(cè)量平臺(tái)上,確保樣品表面平整。
開(kāi)機(jī):連接電源并打開(kāi)儀器,進(jìn)行自檢和初始化。
設(shè)置參數(shù):根據(jù)樣品的性質(zhì)和測(cè)量需求,設(shè)置測(cè)量模式、光源波長(zhǎng)等參數(shù)。
開(kāi)始測(cè)量:將激光對(duì)準(zhǔn)樣品表面,按下測(cè)量鍵,儀器自動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。
讀取結(jié)果:測(cè)量完成后,儀器會(huì)顯示薄膜的厚度和相關(guān)數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與輸出:將測(cè)量結(jié)果存儲(chǔ)到儀器中,或通過(guò)USB接口傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行進(jìn)一步分析。
七、優(yōu)勢(shì)
高精度:采用光學(xué)干涉法,測(cè)量精度高,重復(fù)性好。
非接觸式測(cè)量:無(wú)需接觸樣品,避免對(duì)樣品造成損傷。
多功能:支持多種測(cè)量模式和數(shù)據(jù)處理功能,滿足不同用戶的需求。
便攜性:體積小、重量輕,便于攜帶和現(xiàn)場(chǎng)使用。
操作簡(jiǎn)便:界面友好,操作簡(jiǎn)單,易于上手。
實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析:內(nèi)置數(shù)據(jù)分析軟件,能夠?qū)崟r(shí)顯示測(cè)量結(jié)果并提供多種數(shù)據(jù)處理功能。
八、附件
九、維護(hù)與保養(yǎng)
清潔:定期清潔光學(xué)鏡頭和測(cè)量平臺(tái),避免灰塵和污漬影響測(cè)量結(jié)果。
校準(zhǔn):定期使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片進(jìn)行校準(zhǔn),確保儀器測(cè)量準(zhǔn)確。
存儲(chǔ):存放于干燥、清潔的環(huán)境中,避免高溫、潮濕和強(qiáng)磁場(chǎng)。
Sanko-Denshi膜厚計(jì)SWT-NEO以其高精度、非接觸式測(cè)量和多功能性,成為薄膜厚度測(cè)量的理想工具,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域。