美國Laurell ø300mm旋涂機

產(chǎn)品型號：H6-15
更新時間：2024-09-02

簡要描述：美國Laurell ø300mm旋涂機 H6-15
勞雷爾 H6-15?旋涂機結(jié)構(gòu)緊湊，功能先進，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑最的大為ø 300mm 的晶圓和 9“ × 9“ (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圓）。

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產(chǎn)品詳情

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	進口
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

美國Laurell ?300mm旋涂機 H6-15

勞雷爾 H6-15旋涂機結(jié)構(gòu)緊湊，功能先進，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑最的大為? 300mm 的晶圓和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圓）。

封閉式碗狀設(shè)計，加上過程控制器的精確性，可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部，以防止化學(xué)品意外滴落到基材上。

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